氦檢是把氦氣作為示蹤氣體充注到被檢驗(yàn)工件中，將工件泄漏出來(lái)的氦氣，通過(guò)質(zhì)量分析管轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的微電流信號(hào)，從而確定氦的泄漏量，進(jìn)而判定工件的泄漏是否合格的一種質(zhì)譜檢測(cè)方法。那么如果氦檢設(shè)備內(nèi)部泄漏怎么處理呢?下面我們一起來(lái)了解。

　　(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)，當(dāng)氦檢設(shè)備內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。

　　氦檢設(shè)備內(nèi)部主要的密封部位在氦檢設(shè)備的后側(cè)，位于隔熱板的上方：

　　①氦檢設(shè)備測(cè)試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，氦檢設(shè)備在運(yùn)輸過(guò)程中如遇到強(qiáng)烈震動(dòng)，此處容易造成密封膠開裂。

　?、?a href="http://www.zzhongjiu.com/" target="_self" title="http://www.zzhongjiu.com/" style="text-wrap: wrap;">氦檢設(shè)備各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5年以上時(shí)，有可能會(huì)存在密封失效的問(wèn)題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

　　(2)定位方法，采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測(cè)，因L200+ 氦檢設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測(cè)時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測(cè)時(shí)采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開，避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。②噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。③儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1 s，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s，再等待約3 s 后觀測(cè)信號(hào)有無(wú)變化。

　　(3)氦檢設(shè)備處理方法，不同的密封部位出現(xiàn)泄漏采用不同的處理方法。

　　檢漏接口與閥門組塊的連接部位有漏，可先采用灌膠密封處理，若密封性仍不能滿足要求，需從廠家購(gòu)買新品進(jìn)行更換。

　　氦檢設(shè)備電磁閥與閥門組塊間的密封圈有漏，則對(duì)密封圈進(jìn)行更換，并先用無(wú)水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣，會(huì)影響儀器本底)等密封添加劑。各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封，若有漏，更換密封圈即可。注意事項(xiàng)同上。真空計(jì)的探針與其外殼間采用密封膠密封，該密封環(huán)節(jié)在檢測(cè)時(shí)易被忽視，此處若有漏可先進(jìn)行灌膠處理，但探針間距很小，可操作空間有限，若灌膠后密封效果不佳，則從廠家購(gòu)買新品進(jìn)行更換。