1、設(shè)備優(yōu)勢
自動搬運,自動封堵,實現(xiàn)腔內(nèi)充氦
2、設(shè)備參數(shù)
真空腔
≥2000mm
測試壓力
4Mpa
泄漏標準
1E-5 pam3/s (≥80%He)
檢測精度
1E-7pam3/s
測試節(jié)拍
80s
本底背景量級
0.01g/y
氦氣回收率
≥98%
檢漏方式
全自動檢漏
電話:022-58501645轉(zhuǎn)8007